二手 TEGAL 915 #158859 待售

TEGAL 915是由全球半導體制造設備領導者TEGAL Corporation制造的蝕刻器/asher。此蝕刻器/asher用於MEMS和半導體制造,旨在通過高效、經濟高效的處理提供卓越的性能和可擴展性。915為多室蝕刻器/asher,具有優化的單室布局。它采用組合蝕刻/灰分工藝，允許用戶同時蝕刻和清潔同一腔室的基板。它具有很高的吞吐量能力，每次蝕刻周期可處理多達130個基板。TEGAL 915采用高性能、低功率、高密度直流磁控管濺射設備供電，還包括先進的負載/卸載傳輸系統，以提高吞吐量。蝕刻/灰分工藝采用了高密度等離子體、預蝕刻和後灰分工藝的組合，產生了優越的蝕刻速率和優異的效果。其多腔室設計經過優化，使Precision Punch特性具有卓越的邊緣清晰度。915具有頂級的現場診斷功能,旨在自動補償缺陷、最大限度地減少缺陷並優化過程性能。它旨在實現虛擬端點,以實現最佳的過程控制和可重復性。它還包括用於精確控制室內溫度的冷室.此外，TEGAL 915包含了一系列的安全特性，例如安全聯鎖單元和化學惰性能力。其先進的快門機確保在基板牢固地固定在腔內之前，基板不會暴露於等離子體或蝕刻物中。此外,915還具有一系列自定義功能,如多種配方存儲和易於優化的工具。它設計為易於使用,具有動態接口和遠程控制功能,非常適合遠程監控和過程控制。TEGAL 915旨在通過高效、經濟高效的處理提供卓越的性能和可擴展性,使其成為當今半導體生產需求的理想選擇。