二手 TEGAL 915 #293766664 待售

TEGAL 915是由TEGAL Corporation製造的先進等離子體蝕刻/asher設備。專為先進薄膜電介質和電子互連的蝕刻沈積而設計。915是一個高效、高精度的系統，為大批量生產薄膜電路提供了出色的蝕刻均勻性和高通量。它采用創新的模塊化設計進行設計,使設備易於安裝、維護和重新配置,以實現最佳的過程控制。該機還提供了一系列可編程的過程，以實現高效和可重復的蝕刻。TEGAL 915配備了先進的蝕刻室設計，由兩個高流量氣體流量控制器供氣，允許用戶快速調整流量、壓力和氣體混合物，以達到最佳蝕刻效果。此外，該室還配備了自動氣體檢測工具，確保對加工條件的準確控制。通過自動化的過程控制,該資產提供了卓越的過程可重復性和對蝕刻特性的控制.該模型利用最先進的等離子體源對薄膜電介質和電子互連進行可靠、一致和均勻的蝕刻。等離子體源由高性能微波發生器供電，創造出最佳的耐溫高效蝕刻工藝。這樣可以確保材料均勻蝕刻而不會損壞或失真。此外，915配備了先進的多平面成像系統，為用戶提供可視化蝕刻工藝進展的能力。該設備還與廣泛的薄膜沈積材料兼容，使得創建更復雜和精確的表面成為可能。最後，系統還配備了強大的遠程聯網功能，可以讓用戶實時監控、控制和更新設備。TEGAL 915是一種先進、通用的機器，提供精湛的工藝均勻性和對薄膜沈積工藝的出色控制。其創新的設計和強大的等離子體源使用戶能夠獲得精確一致的結果。此外，其先進的成像系統和遠程聯網功能使用戶能夠實時監測和更新該工具，為生產復雜的電子互連提供必要的更多靈活性和控制。