二手 TEGAL 915 #293811527 待售

TEGAL 915是一款高性能蝕刻器/asher,專為小型蝕刻和灰化應用而設計。這臺機器非常適合在臭氧敏感膜、碳膜和非晶矽等多種底物上工作。其強大的設計提供了可靠和可重復的處理結果。915利用三軸直線電動機進行可重復和可重復的蝕刻和灰化過程。其機械結構由精密直線導軌和空氣軸承組成，用於光滑、精確的蝕刻。腔室采用不銹鋼制成，旨在提供更好的工藝氣氛均勻性。該室還配備了自動氣體註入系統，使化學家能夠將不同的氣體註入室內，以優化蝕刻過程。機器使用圖形用戶界面操作，使操作員能夠監視和控制計算機的蝕刻過程。操作員還可以調整蝕刻過程的時間、溫度、壓力等參數。TEGAL 915配有氧氣傳感器，可提供最佳工藝室大氣反饋。它還具有用於連接數據記錄、監視和分析的處理前和處理後PC的通信接口。915是小型蝕刻和灰化應用的理想選擇,因為它具有高度可重復和可重現的性能。它還配備了先進的軟件包，使其用戶友好且易於使用。此外,該機器還設計了安全功能,如壓力傳感器、緊急停止和溫度監視器,以幫助保護操作員和蝕刻加工室。TEGAL 915是一種高度可靠的蝕刻器/asher,可讓您以最高的精確度和可重復性執行重復蝕刻和灰化過程。此機器旨在提供最佳蝕刻結果,同時減少不需要的錯誤、最大限度地提高吞吐量和增加過程知識。