二手 TEGAL 915 #293816364 待售

TEGAL 915 Asher是一款在半導體工業中使用的高度先進、可靠的蝕刻器。該蝕刻器能夠處理不同尺寸和材料的晶片，包括絕緣體上矽（SOI）、砷化氙（GaAs）和碳化矽（SiC）。與傳統蝕刻器不同，由於其先進的微蝕刻技術，它產生了極低汙染水平的優質蝕刻效果。蝕刻器包含一個帶有加熱蓋的蝕刻室，使整個晶片均勻加熱。這確保了蝕刻過程的一致性和可靠性。加熱晶片可確保蝕刻結果非常準確和均勻。該腔室還包含一個射頻發生器和一個真空源，兩者均用於驅動蝕刻過程。915 Asher擁有四個集成的實時成像（RTI）相機。這些攝像頭使蝕刻器能夠實時監控蝕刻過程，向操作員提供反饋。這確保了蝕刻過程能夠得到準確有效的控制。TEGAL 915 Asher集成了電子束靈敏度選擇（EBSS），這使得蝕刻器能夠為給定的晶圓材料選擇最佳的激光靈敏度。這提高了蝕刻工藝的準確性，並確保蝕刻結果在不同材料的晶片上均勻。蝕刻器還具有自動晶片處理功能，使其能夠快速安全地加載和卸載晶片。蝕刻器的設計效率高，成本效益高。它具有幾個旨在降低運營成本的功能，如節能加熱元件、集成的EBSS選擇和自動晶圓處理。蝕刻機還具有低溫操作模式，減少設備磨損，提供更長的使用壽命。總體而言，915 Asher是一款高效可靠的半導體行業蝕刻器。其先進的微蝕刻技術、實時成像相機和集成的EBSS選擇確保了可靠的蝕刻結果,且汙染程度最小,而其低溫操作模式和自動晶片處理則確保了高效、經濟高效的處理。