二手 TEGAL 915 #84339 待售

TEGAL 915是一種以高度精確的陣列和成像能力而聞名的蝕刻器/asher。該工具采用精密聚焦波束技術進行局部電路陣列設計，並采用集成的自動負載鎖進行快速工具設置。它還配有探測站和層壓設備,可選配基板測量系統.915有一個專門的工作室，配有建築墻壁、可調屏蔽、溫度控制器、溫度傳感器和真空系統，有助於保持一致的環境以實現最佳蝕刻和成像性能。該工具包含具有四軸運動的高度精確的掃描頭和完整的成像傳感器陣列。它還有一個大型真空室，裝載能力高達26個全尺寸晶片或等效。一個具有三個可互換噴嘴（氣體、蝕刻/亞甲基碘化物和碳註入）的現場可更換噴嘴系統允許對蝕刻過程進行定制和優化。TEGAL 915的整體靈活性使其適合各種應用和過程。它的群集配置利用共享功能,如通用基板傳輸滑槽（STC）和「區域」連接,允許多個工具協同工作以創建復雜和復雜的模式。915還采用了電離集束光束自動對焦裝置，與同級別的其他蝕刻器相比，具有更高的精度和可重復性。TEGAL 915的各種可沈降參數，如基材尺寸、樣品類型和厚度、供氣比、壓力範圍等，使得蝕刻工藝的實驗和調整更大。該工具通過集成的半自動清潔周期得到進一步加強，以最大程度地提高生產力和安全性。綜上所述,915是一種先進的蝕刻器/asher,由於其尖端的成像和光束技術、廣泛的可定置參數、靈活的群集配置和自動清潔周期,非常適合高精度的應用。TEGAL 915是一種多合一蝕刻和灰化機，這使得它成為任何參與研發項目的實驗室或設施的高度通用和必不可少的工具。