二手 TEGAL 915 #9210224 待售

TEGAL 915是為生產射頻MEM、光子器件和納米電子元件而設計的高精度自動化晶片蝕刻器/asher。這臺專門制造的機器具有卓越的精確度和可重復性,以較低的運營成本提供高吞吐量。它利用了一個寬敞的75 x 75厘米開放式腔室和內置氣體歧管以及各種工藝氣源，使用戶能夠創造出與各種化合物的最佳塗層厚度和均勻性。它的雙陰極電子束源提供了極為均勻的蝕刻速率，使用戶能夠準確確定蝕刻時間並最大化屈服。此外,915通過其前置負載裝卸配置、直觀的控制設備和全面的集成功能,確保了可靠高效的流程。由於其先進的冷卻系統，所有組件都保持在低溫狀態，使得蝕刻過程幹凈、安全、穩定。閉環反饋技術進一步確保了蝕刻結果的可重復精度，也提高了裝置的可靠性。它定期監測操作參數，並對最優波動進行實時調整。此外，TEGAL 915具有堅固的硬質防護塗層和超清潔技術，可防止工藝氣體泄漏和蝕刻結果受到汙染。在保養保養方面，915低保養，人性化。其自動自我檢查HMI可讓用戶隨時了解組件狀態,並提供對警報的快速訪問,使用戶能夠隨時了解性能級別。最後,它由一個先進而全面的技術支持團隊作為後盾,確保對機器進行校準並保持完美的工作狀態。