二手 TEGAL 915 #9220755 待售

TEGAL 915 蝕刻器/asher是一種計算機控制的蝕刻和灰化工藝，用於制造半導體晶圓。它具有四個沈積源、三個獨立的旋轉蝕刻/灰化電極和一個自動化加工室的集成爐。915采用先進的OptiPulse™技術設計，對整個基板表面的蝕刻深度和均勻性進行精確控制。該設備還能夠處理多晶矽、鋁、鎳、鈦等多種薄膜材料。TEGAL 915旨在提供高度均勻的蝕刻和灰化。它使用了一系列集成過程,例如增強型LPCVD （ELPCVD）過程,以確保全球控制蝕刻深度和均勻性。其OptiPulse系統允許精確的蝕刻均勻性和深度降至1微米水平，並具有可調的蝕刻速率控制，以微調蝕刻輪廓。它的四個沈積源設計為提供高沈積速率、均勻性和精確的薄膜層厚度控制。專用旋轉電極能夠根據用戶繪制的形狀精確形成蝕刻圖樣。915裝有一個大的加工室，能夠處理多達2英寸厚的晶圓。一個全面的控制單元允許自定義的自動配方創建和對參數的輕松訪問,允許用戶微調過程以獲得最佳結果。其靈活的自動化允許快速的流程轉移和高效的吞吐量；其密集的用戶友好圖形用戶界面可以方便操作和配方召回。綜上所述，TEGAL 915 蝕刻器/asher具有多種特性，能夠對多晶矽、鋁、鎳、鈦等薄膜材料進行快速、均勻的蝕刻和粉刷。其OptiPulse機器可確保精確的蝕刻深度和均勻性,而其集成的工藝和旋轉電極可實現微調定制和自動配方創建和召回。915旨在提供快速的流程轉換、高效的吞吐量和卓越的統一性。