二手 TEGAL 915 #9244755 待售

TEGAL 915是一種高精度蝕刻/Asher設備，專為要求矽片、銅和鍍鋁泡沫基板等基板精確蝕刻/Asher等要求最苛刻的應用而設計。它利用自由空間激光技術和催化化學蝕刻技術進行精確、精確的蝕刻和燒蝕。915激光源能夠處理半導體和非半導體材料，在整個溫度範圍內具有很高的精度和可靠性。該激光器配有旋轉鏡提供均勻精確的激光空間圖樣，以及可控制激光束空間圖樣的掃描儀頭。該系統還能夠提供廣泛的激光頻率。它的寬軌檢流計掃描單元提供了對激光功率的動態控制，從而可以準確、精確地定義所需蝕刻材料的確切數量。TEGAL 915還提供了多種催化化學蝕刻選項。該機器可進行編程和控制，以便將不同的蝕刻化學物質沈積在不同深度的不同材料上。這允許精確控制將關鍵尺寸蝕刻到晶圓表面,並創建復雜的設計和圖案。除了蝕刻的精確度和精確度外，915還包含了一些安全特性，如保護罩和密閉安全門，以及收集蝕刻過程中產生的任何危險副產品的真空室。該工具還配備了自動化的自清潔功能，可減少資產和晶圓的汙染。TEGAL 915是一款高度先進的蝕刻/Asher模型，旨在滿足最苛刻的蝕刻需求。其精密、安全和先進的控制特性，使其成為一種高度可靠和高效的設備，用於各種材料的蝕刻。