二手 TEGAL 965 #293656298 待售

TEGAL 965是一種先進的等離子體蝕刻器，廣泛應用於廣泛的行業，如半導體、光學和醫療器械行業。965能夠控制許多蝕刻加工參數，使其具有高度的通用性。TEGAL 965還可以蝕刻多種材料，包括矽、鋁亞硝化物和砷化氙等。965具有先進的8英寸晶圓加工室，可配備2徑光束線，提高機器的蝕刻速率。TEGAL 965具有集成的全自動等離子體源,可以更快地調整和控制蝕刻速率,從而提高過程的均勻性和可重復性。該機具有出色的工藝控制能力，能夠設置各種計時周期，檢查壓力傳感器讀數，甚至在需要調整工藝參數時重復相同的蝕刻周期長達五次。965還提供了廣泛的高級功能,使其在市場上的其他蝕刻商中脫穎而出。該機配有多噴嘴系統，可自動控制蝕刻時間和蝕刻速率。它還包括一個可調節的PIEZO振蕩器，允許對蝕刻過程進行更精細的控制。TEGAL 965還具有一個自動晶圓機械手,可實現晶圓的更高精度定位,以及一個全局蝕刻算法,可確保蝕刻通道的均勻性和可重復性。總體而言，965對於那些在工藝過程中需要高精度和精確度的人來說是一個極好的蝕刻器。它具有許多高級功能,使其成為一種通用工具,並且在各種應用程序中都非常可靠。精密控制蝕刻過程的能力是一個很大的優勢，允許用戶以極高的精度輕松復制過程。TEGAL 965是尋求各種材料蝕刻可靠和通用工具的人的絕佳選擇。