二手 TEGAL 965 #293753247 待售

TEGAL 965蝕刻器（或asher）是一種先進的蝕刻和灰化工具，用於制造半導體芯片。能高速蝕刻、粉刷大面積，效果優越。大面積分為蝕刻區和灰化區兩部分。機器可以從5"到8"的基板加工，最多12"被推薦以獲得最佳效果。965采用了專利氣體混合技術，允許高密度等離子體（HDP）蝕刻，通過改善等離子體均勻性、等離子體清潔的高均勻性和減少晶圓翹曲，實現了更快的蝕刻速率。蝕刻過程使用高頻射頻（RF）等離子體快速、均勻地去除材料，既減少蝕刻時間，又提高基線蝕刻效果。蝕刻時間可以根據特定應用程序定制,從而縮短周期並提高吞吐量。蝕刻處理不同的氣體，如氮氣或氦氣，以達到特定的期望結果。有專門的蝕刻工藝，如反應性離子蝕刻、氧活性離子蝕刻、光刻蝕刻。蝕刻器還可以執行剝離、變薄、蝕刻後修改等其他過程。TEGAL 965的ashing process uses oxygen-based plasma to uniformly remove material from the wafer surface.HDP灰化工藝也可用於高速、高均勻性和高純度材料的去除.該工藝優於傳統的敏感晶片灰化工藝，提供了更好的均勻性和純度。965是一種可靠且有價值的晶圓制造蝕刻/灰化工具。它易於設置和操作，以精確度和速度著稱。這與高質量和統一的工藝結果相結合,使得TEGAL 965成為各種應用（包括MEMS、微處理器和無線通信）的理想工具。最後,功能齊全的965提供了優於蝕刻和灰化工藝的控制,從而也實現了最佳效果。