二手 TEGAL 980ACS #9395473 待售

TEGAL 980ACS是一種由半導體加工和研究專業人員設計的蝕刻器和asher。它是一種全自動、高速、高通量的設備，設計用於處理各種應用中的晶片。TEGAL 980 ACS具有基於PC的控制系統和16-bit-RISC-driven體系結構,可確保快速、高精度地控制蝕刻過程。該股還提供廣泛的能力，包括：多種工藝配方和高度可調的參數設置；基於Windows XP的圖形用戶界面（GUI）,用於配方和參數選擇；溫度、壓力和流量控制；裝載和卸載選項；還有一臺750W的微波發電機。蝕刻器有兩個獨立的腔室，每個腔室最多可容納一個6英寸的晶圓。在所有其他蝕刻參數保持不變的情況下，這兩個腔室都能夠被動或主動地進行調節。室溫可以從室溫到700°C進行編程,並能夠以每秒3°C的速度加熱。980ACS還配備了一個自動加載/卸載機，設計用於與各種傳輸磁帶和晶片盒式磁帶兼容。該工具每分鐘可處理多達12個晶圓，並設有一個觸摸屏顯示器，用於記錄和顯示實時蝕刻過程數據。資產以三相208-VAC動力運作，能夠向兩個會議廳提供多達750W的動力。980 ACS作為工業上最先進的蝕刻機之一，能夠精確地產生高達μ m的蝕刻深度，因此非常適合深層蝕刻、植入和光刻等應用。