二手 TEGAL 981 #9249070 待售

TEGAL 981是一款先進的蝕刻/asher設備,專為精確度和卓越性能而設計。該系統可用於廣泛的蝕刻和灰化應用，包括半導體、平板顯示器、MEMS和其他電子元件的應用。981通過提供卓越的靈活性和可擴展性,為高級蝕刻和灰化設定了新的標準。TEGAL 981具有電磁幹擾（EMI）還原底板技術，利用導電屏蔽和屏蔽結合晶圓座、電源和歧管基座。這提供了安全和均勻的蝕刻和灰化過程,同時減少了設備的EMI簽名。981還設有與各種晶片尺寸兼容的晶片支架、手動和自動壓力控制機以及可配置的蝕刻/灰燼工藝配方。TEGAL 981能夠快速、精確地蝕刻和粉刷不同尺寸和形狀的產品。此工具可配置為使用各種可用的開始和結束蝕刻/灰化配方進行蝕刻和灰化。981還允許對矽、石英、金屬合金等不同基材進行蝕刻和灰化，以及在同一蝕刻室中蝕刻玻璃和藍寶石。除了蝕刻和灰化功能外，TEGAL 981還包括一個用於光刻剝離和植入的啟用氣體的腔室。這種腔室能夠在低壓下運行，如100 mTorr，速度高達1,000步/秒。此外，該資產還具有一個用戶友好的界面和培訓模式以及彩色圖形顯示。981由優質材料制成，其結構設計為防止汙染和消除熱量積聚。該車型還符合嚴格的安全標準，符合不同的國際安全法規。它具有獲得專利的能源回收設備（ERS）,旨在降低能耗,同時確保高蝕刻和灰化性能。TEGAL 981是任何蝕刻和灰化應用的絕佳選擇。其卓越的性能和靈活性,以及降低的EMI簽名,使其成為市場上最先進的蝕刻/灰化系統之一。