二手 TEGAL 981 #9267872 待售

TEGAL 981是一種在半導體和微電子工業中廣泛用於多種應用的蝕刻器/asher。981是一款功能齊全的高級蝕刻/ashing設備。它具有用於蝕刻和灰化的自動化三級工藝,並且能夠使用200 mm以上的多個晶圓。設備的溫度範圍為25°C至200 °C，腔室能夠進行0-99秒的蝕刻/灰化時間。該系統還具有幹蝕能力和可選的氣相沈積工藝。TEGAL 981采用了先進的等離子體蝕刻工藝，具有使用各種氣體的靈活性。它支持Cl₂、CO₂、CF₄、O₂和H₂，壓力範圍為10 mtor至500 mtor。這提供了甚至蝕刻最困難的材料，包括多晶矽、GaAs和氮化物，並具有突出的重復性。單元設計還包括溫度控制器、真空密度控制器（VADC）、火焰探測器和基於EtherNet的機器控制器。溫度控制器監控和調節溫度，保持腔室的穩定性。VADC提供了對腔室流量的精確控制，確保了一致的蝕刻速率。火焰探測器可防止腔內發生任何不需要的點火,基於EtherNet的工具控制器和用戶界面可簡化操作、監控和診斷。該室具有終極載荷鎖（Ultimate Load Lock, ULL）資產,具有獨立的載荷門和卸載門。該模型消除了內部汙染，確保了晶圓的清潔度和可復制的組合物質量。壓力控制精度高，可重復，壓力範圍為1 mtor至700 mtor。這樣可以準確控制蝕刻速率和高質量的蝕刻結果。981是蝕刻和灰化精密元件的完美解決方案。其先進的特性，包括先進的等離子體蝕刻、精確的壓力和溫度控制以及高通量，使其成為廣泛應用的理想解決方案。