二手 TEGAL Chamber for 415 Plasma asher #293661202 待售

TEGAL 415 Plasma Asher是一款精密蝕刻器/Asher，旨在為廣泛的濕式和幹式等離子蝕刻應用提供最高質量、可重復的結果。該腔室旨在優化吞吐量、可重復性和過程控制。TEGAL 415 Plasma Asher具有一個大容量的石英室，為各種蝕刻化學物質提供優化的均勻性和溫度控制。腔室的車身采用耐用、重量輕、陽極氧化鋁制成，可快速輕松地打開維修和填充。用戶友好的PC顯示屏允許輕松設置和監視參數。TEGAL 415等離子體灰燼還具有獨特的、集成的、先進的電子束激活源，可以產生最優質的等離子體。這樣可以確保高效、可重復的結果,而無需昂貴的構建塊或額外的設備。它具有可調電源,可精確控制工藝參數。TEGAL 415 Plasma Asher還擁有高質量的設計特點，包括可調節偏置電壓、可調節壓力、低I/O延遲和低溫冷卻的工藝氣體管線。這些功能允許更高的質量、更高的重復精度以及提高刀具組件的使用壽命,同時提供更嚴格的規範控制。TEGAL 415 Plasma Asher還提供多種安全功能，保護操作員和設備免受潛在危害。例如,腔室包括一個緊急關閉開關,如果檢測到壓力升高,該開關就會接合。還有一個警報系統，會在操作員出現任何潛在的安全問題之前提醒他們。TEGAL 415 Plasma Asher具有高度靈活的設計,使其易於配置用於各種蝕刻應用,非常適合各種生產過程。廣泛的蝕刻能力使該系統成為任何生產線的完美工具。憑借其全面的功能，TEGAL 415 Plasma Asher是當今最好的蝕刻解決方案之一。