二手 TEGAL CS980 #293754219 待售

TEGAL CS980是為先進的半導體和微電子制造工藝而設計的最先進的蝕刻器/asher設備。這種高度通用的工具集成了多個過程模塊,使各種蝕刻和灰化應用程序具有卓越的精度和控制能力。CS980配備了先進的特性和功能,使其成為研發以及需要可靠和高性能設備的生產環境的領先選擇。TEGAL CS980采用模塊化設計,可輕松定制和擴展,以滿足不同流程應用程序的特定要求。系統通常配置有多個處理室,每個處理室都專用於特定的處理步驟,如蝕刻、剝離、清潔或表面修改。這種模塊化布局允許對多個基板進行並行處理,從而實現高效的工藝集成並最大限度地提高刀具利用率。CS980的關鍵能力之一是其先進的等離子體處理技術，使氣流、壓力、功率、溫度等參數的精確控制達到高度均勻和可重現的效果。該機組配備了高頻射頻等離子體源，產生適合高精度蝕刻和灰化工藝的低壓等離子體環境。射頻源的工作頻率在MHz範圍內，在整個加工室提供出色的等離子體穩定性和均勻性。TEGAL CS980還配備了先進的氣體輸送機，能夠在加工過程中精確控制氣體流量和成分。該工具包括質量流量控制器、壓力調節器和氣體歧管組件,可確保將加工氣體準確可靠地輸送到加工室。氣體輸送資產旨在支持各種化學和工藝配方，使CS980適合各種蝕刻和灰化應用。除了先進的等離子體和氣體輸送系統外，TEGAL CS980還具有高精度基板處理模型，可確保基板在加工過程中的精確定位和對準。設備配有機械臂、晶片卡盤和末端效應器，能夠自動裝載和卸載基板，以及精確控制加工室內的基板運動。這種自動化處理系統最大限度地減少了人為幹預，降低了加工過程中基板損壞或汙染的風險。CS980還包括一個用戶友好的界面和控制軟件,使操作員能夠輕松設置流程配方,實時監控流程參數,並分析流程數據以進行優化和故障排除。軟件界面為配方開發、流程監控和數據分析提供了直觀的工具，使用戶可以通過最少的培訓輕松獲得最佳流程結果。總體而言,TEGAL CS980是一個高度精密的蝕刻器/asher單元,它結合了先進的等離子體處理技術、精確的氣體輸送系統和自動基板處理功能,為各種半導體和微電子制造過程提供卓越的性能和可靠性。CS980具有模塊化設計、高級功能和用戶友好的界面,是一種多功能工具,為半導體行業的前沿研究和生產應用提供卓越的控制和靈活性。