二手 TEGAL Plasmaline 200 #9141854 待售

TEGAL Plasmaline 200是一款先進、高精度的蝕刻器/asher，配備了強大的射頻發電機和大容量、負載鎖定設備。這臺機器的構造是為了進行最廣泛的蝕刻過程,並取得最佳的結果.Plasmaline 200上的等離子體發生器產生具有廣泛等離子體能級和氣體化學成分的高溫等離子體。射頻發生器可以調整，以便改進對等離子體在蝕刻表面分布的控制。這樣就提高了工藝的可重復性和可靠性。高壓腔室和負載鎖定系統讓用戶具有較大的進料速率容量，為蝕刻過程提供可控的氛圍。可以添加一個可選的汽化器進行汽相蝕刻。汽化物種被輸送到蝕刻室內，以進行高度控制的幹蝕刻過程。TEGAL Plasmaline 200的易用軟件為用戶提供了流程開發功能,從而改進了配方優化。該單元配備了每個蝕刻過程的實時監控和數據記錄功能，以及具有多個蝕刻頭配置的內置晶圓定位。Plasmaline 200的先進設計使其適合於蝕刻包括矽、氮化零、砷化氙等多種材料。機器的自動化技術使生產和測量變得容易，而其高精度和過程重復性使其適合先進的過程開發。綜上所述，TEGAL Plasmaline 200是一款功能強大、用途廣泛的蝕刻機，利用強大的射頻發生器和大容量負載鎖定機，保證高精度蝕刻，並取得最佳效果。機器的自動化過程控制和監控功能使其適合用於高級過程開發應用。