二手 TEGAL Plasmaline 200 #9142828 待售

TEGAL Plasmaline 200是一款裝有創新電離物理蝕刻技術的蝕刻器/asher，設計用於精密表面處理。它提供高精度、重復性和高速處理，特別適用於納米級和高通量的應用。通過單室設計,Plasmaline 200易於安裝和配置,其每一個組件均可訪問,以便於維護。具有先進的單通道單波束光源，具有較高的功率可靠性和較低的噪聲操作，可實現最佳的蝕刻精度。在材料蝕刻過程中,微量電動機具有很高的精度和可重復性.可調腔室結構通過一系列基材和工業應用最大限度地提高了工藝產量，促進了高效的表面蝕刻。TEGAL Plasmaline 200 蝕刻器/asher采用高性能等離子體蝕刻技術，旨在實現強大、精確的蝕刻和受控的熱分布。電磁產生的等離子體均勻分布，使整個基板上的任何材料均勻均勻蝕刻。利用內置的四重噴射器技術Ar+氣體和專用的內部法拉第屏蔽裝置提高了Plasmaline 200的蝕刻速率，提供了最小顆粒汙染的高等離子體密度。TEGAL Plasmaline 200利用其開放式腔室設計,實現了高效的表面積處理和可預測的工藝性能,提供了更高的產量和更高的吞吐量,並具有最低限度的後加工白蝕刻、無燃料/蝕刻材料再沈積和蝕刻過程中基板上無殘留物沈積。Plasmaline 200提供的可調工藝參數包括可調氣體流速、蝕刻速率和蝕刻濃度,從而縮短了蝕刻周期時間,提高了在較大表面積上的均勻性。總體而言,TEGAL Plasmaline 200是一種高科技、易於使用的工業蝕刻器/灰化器,可提高產量、提高吞吐量時間和縮短周期時間。它提供了創新、單光束源、多噴射器、低噪聲操作和可調節的工藝參數，全部由強大、精確、可重復的技術提供動力。Plasmaline 200以其高性能和廣泛的基材和應用，是納米級和高通量工業蝕刻作業的理想選擇。