二手 TEGAL Plasmaline 415 #9239233 待售

TEGAL Plasmaline 415是一款最先進的蝕刻器/asher,旨在提供精確、經濟高效的方法,實現對各種材料的垂直輪廓控制蝕刻。該機器的創新設計包括自上而下和左右移動,以蝕刻比許多舊技術更精細的特征尺寸。Plasmaline 415能夠對電路板電平天線進行陣列化，制造具有特殊輪廓控制的眼鏡，並產生多種尺寸的天線結構。設備采用先進的頻率和功率控制，精確控制等離子體能級，允許形成更精細的特征。此外，該系統具有高度精確的氣體輸送裝置，以精確的混合、壓力和流速向加工室輸送預編程的加工氣體，確保可重復的結果。氣體流速、工藝室壓力、溫度都經過精確管理和監控，以獲得最佳工藝條件。該機還配備了人性化的圖形用戶界面，讓用戶完全控制機器的操作，包括配置文件、配方和手動控制。軟件界面不僅有助於創建配方和控制流程,而且還提供了一套診斷工具和報告,用於故障排除和流程優化。TEGAL Plasmaline 415有多種工藝室尺寸可供選擇，從1.6英寸到8.2英寸，能夠蝕刻多種材料，包括銅、鋁、砷化氙和磷化銨。該工具還配備了高頻遠程等離子體源和反應性離子板，根據具體應用要求提供幹式和濕式（粗糙）蝕刻功能。該資產在實驗室和生產環境中表現良好，其設計符合或超過SEMI-S2-0208制造清潔標準。安全特性包括一個密封的加工室，以保護人員免受有害物質的傷害，以及一個內置的再循環過濾器來捕獲空氣中的顆粒。總體而言，Plasmaline 415是研發以及大批量生產應用的理想蝕刻器/asher。TEGAL Plasmaline 415憑借其精確的精度、可靠的工藝控制、易於使用的軟件和安全功能,為各種應用提供了卓越的蝕刻解決方案。