二手 TEGAL Plasmaline 515 #9244783 待售

TEGAL Plasmaline 515是一款先進的幹式等離子體蝕刻和灰化設備。它旨在提供各種材料的串聯加工，如氧化矽、GaAs、氮化的和光致抗蝕劑。血漿515具有高分辨率、高真空等離子體源和精密的大面積微波等離子體源。利用多個微波通道，以高效、高效的方式實現精密蝕刻和灰分處理。TEGAL Plasmaline 515采用先進的自動化設計，使其能夠自動檢測等離子體參數並進行調整，以確保均勻的蝕刻和灰分生產。其精密的控制系統提供了對整個集成處理線上匹配蝕刻和灰燼的精確工程控制。此外，該裝置還具有獨立的工藝氣體控制功能，使其能夠達到最佳工藝條件，並快速準確地進行校正。質粒515還能夠支持晶圓的多種格式和盡可能高的蝕刻均勻性水平。它被設計為使用新穎的PlasmaJet技術，有助於保持優越的蝕刻均勻性。它還具有可傾斜的基板支架，有助於提高蝕刻圖樣的均勻性。TEGAL Plasmaline 515采用模塊化設計,可根據需要進行升級和增強。它采用完全集成的真空冷卻機來冷卻蝕刻前後的基板。真空冷卻工具有助於提高蝕刻均勻性和工藝吞吐量,同時保持工藝室的使用壽命。綜上所述，Plasmaline 515是一款先進的幹式等離子體蝕刻器和asher，提供幾種材料的在線加工，具有高度精確的蝕刻和灰分能力。它具有先進的自動化、復雜的控制系統和模塊化設計,使其能夠滿足最高的質量標準。