二手 TEGAL Plasmaline #89914 待售

TEGAL Plasmaline是一種用於電介質和金屬層幹蝕刻的蝕刻和灰燼。它使用高壓高溫的氙氯氣混合物在工件表面蝕刻和粉刷特征。此工藝可用於淺層和深層蝕刻。此外，asher過程也可以用來提供對局部地形的控制。Plasmaline 蝕刻器/asher有兩個用於幹蝕刻的腔室。第一室為淋浴頭氣室，通過淋浴頭向反應室中註入高壓ArCl氣體，形成氣體的均勻分布。反應室的壓力和溫度由ArCl氣體混合物的壓力和功率決定。然後在反應室中進行蝕刻過程。第二室是穩定室，在蝕刻過程中控制壓力上升，對過程提供額外的控制。TEGAL Plasmaline是一個可以控制壓力、溫度和氣流的全自動系統。這有助於確保一致的蝕刻結果和可重復性。系統的控制是使用與蝕刻器集成的可編程邏輯控制器（PLC）完成的。這允許根據項目的需要輕松更改參數。血漿適合於淺層和深層蝕刻應用。蝕刻過程是各向異性的，這意味著它在某些方向上的蝕刻速度比其他方向更快。通常,特征的拐角輻射邊緣的蝕刻速率比平面上的蝕刻速率快。這樣可以實現尖銳的特征和緊密的公差。TEGAL Plasmaline也適用於局部地形控制。Asher過程可用於均勻地從允許局部地形變化的設備表面去除材料。這對於需要控制局部地形的平面化和其他應用非常有用。總體而言，Plasmaline是一種可靠而健壯的蝕刻器/asher，可以在各種蝕刻和局部地形控制應用中提供一致且可重復的結果。它對壓力、溫度和反應時間等參數提供的控制確保每次都能獲得最佳結果。