二手 TEGAL Plasmod #133169 待售
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ID: 133169
Etcher, 115 VAC
13.56 MHz RF generator
Manual tuning
Pyrex chamber
Gas input
Inner chamber diameter is 4.25"
Outer chamber diameter is 4.5"
Chamber depth is 6.2".
TEGAL Plasmod是一種最先進的蝕刻器/asher,結合使用物理和化學技術,有效地在各種材料上創建復雜的圖案。該裝置由一個上部蝕刻室和一個下部蝕刻室組成,在上部蝕刻室中,激光束聚焦,下部蝕刻室用於氣體輸送。上腔室裝有可移動噴嘴,可精確地將CO2激光束對準目標材料。這種激光將能量傳遞到需要蝕刻的位置。激光能量隨後與材料發生反應,去除或改變材料的受影響區域以匹配所需的圖樣。激光還配備了光束均勻器,保證了更均勻的表面處理。在下腔室中,使用氣體發生器用惰性氣體填充密閉空間。根據材料和所需的模式,調整氣流以符合要求。這有助於使激光能量均勻,從而防止基板翹曲和燃燒。等離子體也能夠進行激光誘導的化學蝕刻(LICE),這是一個與常規機械蝕刻接收器相比,在一小部分時間內產生復雜圖樣的過程。它依賴化學蝕刻劑,如反應性離子蝕刻器,其作用是作為選擇性蝕刻劑,並增強激光能量以增加材料的去除。反應性離子蝕刻器還有助於減少表面汙染,並在整個蝕刻過程中保持底物完好無損。為了確保精確的圖案,TEGAL Plasmod提供各種質量控制功能,例如三軸CCD攝像機、提供高分辨率圖像以及用於快速測量蝕刻區域的自動計量軟件。蝕刻器還具有圖形用戶界面,可輕松快速地設置參數,從而提高生產率和準確性。等離子體是一種用途廣泛、功能強大的工具,適用於各種蝕刻和灰化工藝,保證了高精度、質量和可重復性。對於尋求高級蝕刻/灰化解決方案的用戶來說,該設備是理想的選擇,能夠在航空航天、醫療和汽車行業中提供卓越的效果。
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