二手 TEL / TOKYO ELECTRON 300T #9194184 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 300T是一種為先進設備制造而設計的蝕刻器/asher設備。該系統支持各種工藝工具和化學手段，以實現下一代設備的集成。它使用與工藝兼容的蝕刻器、asher或石刻室，幾乎可以在任何環境中連續運行。該單元配備了高度先進的控制和自動化系統，以實現最佳流程配方定制以滿足客戶需求。TEL 300T的多用途蝕刻工藝允許對薄膜結構進行一系列蝕刻，如中間門蝕刻、深凹槽蝕刻、淺溝槽隔離蝕刻和結間隙蝕刻。它還支持先進的清潔模塊與一個集成的酸性條從晶圓完全去除有機材料。這臺機器采用了一套特殊的硬件，如魔杖和電源接口，用於用戶定義的蝕刻和asher配方。具有自動穩定功能的高級過程控制工具可實現高度精確的蝕刻和灰度操作。TOKYO ELECTRON 300T專為在單個30厘米（12英寸）晶圓處理資產中實現無與倫比的工藝靈活性和魯棒性而設計。它配有高度可靠的晶圓轉移自動轉移和近場He （NH3）等離子體灰燼副產品。NH3等離子體發光監視器模塊允許精確監測蝕刻/灰度處理條件。此外，先進的過程控制模型自動調整功率和流量曲線，以確保一致和可重復蝕刻過程。該設備可擴展用於超淺結加工，包括口袋和插頭蝕刻、BPSG平面化和氫退火。它還能夠通過短時熱過程形成無氧化物結構。300T與包括Ar、NF3、SF6、CCl2F2、O2和H2在內的多種化學物質兼容,具體取決於工藝。LINX配方庫允許在設置和測試時間最短的情況下設置最佳蝕刻和清潔條件。該庫還包含有關每一工藝和耐腐蝕性的安全信息。此外,TEM軟件包還提供了一個提取功能,可輕松評估關鍵工藝指標,包括蝕刻深度、各向異性、蝕刻速率、蝕刻性能和關鍵尺寸均勻性。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON 300T是一個功能強大且可靠的蝕刻和asher系統，設計用於先進的設備制造。它具有廣泛的工藝工具、化學方法和自動穩定功能,以確保一致和可重復的蝕刻/粉碎器操作,並實現最佳工藝配方定制。該單元的多功能性也使其適合於當今設備制造中的許多應用。