二手 TEL / TOKYO ELECTRON 305D #293659035 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON 305D是為生產先進半導體器件而設計的高度先進的蝕刻器/asher設備。它提供了一個極其統一和可重復的環境,以確保清潔和可靠的蝕刻和灰化過程。該系統由多炮塔單晶片運輸單元、高效蝕刻/灰燼源、真空泵機和計算機控制工具組成。此資產具有最高的效率和最小化的運營成本。其多炮塔單晶片傳輸模式設計用於同時處理多達八個工藝晶片,整體表面積明顯減小。這允許更高效的晶圓傳輸,減少時間和能源消耗。高性能蝕刻/灰源提供了高效的加工和減少材料浪費。它還旨在減少與粒子有關的問題,並盡量減少汙染的可能性。射頻等離子體真空發生器保證了整個蝕刻/灰室的穩定壓力和均勻的等離子體密度,從而保證了出色的蝕刻和灰化質量。先進的計算機控制設備便於快速、方便的設置、吞吐量監控、自動批處理和表調整以及系統的遠程控制。它還包括一個用戶友好的圖形用戶界面,提供一個用戶友好的菜單驅動的圖形界面和遠程顯示,以優化蝕刻/灰燼過程。TEL 305D設計用於大批量生產下一代網絡(Ngn)設備和微電子電路。它可以提供非常統一和幹凈的蝕刻/灰燼工藝,提供高可靠性和工藝可擴展性,以滿足最苛刻的要求。其先進的特性和穩定的性能使其成為制造這些設備的理想單元。
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