二手 TEL / TOKYO ELECTRON 305DD #9389396 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 305DD是一款針對半導體制造行業中大體積工藝需求而設計的蝕刻器/asher。采用高容量連續薄膜傳輸技術，減少了負載時間，提高了刀具加工晶片的吞吐量。該305DN采用雙腔室設計,允許用戶在兩個進程之間快速切換,而無需停止該工具。該工藝配方可以很容易地更新和傳輸到機器，確保快速和高效的操作。蝕刻室可容納400mm半導體晶片，而灰化室可處理多達300 mm晶片。蝕刻過程具有很高的精度和精確度，而灰化過程具有獨特的射頻等離子體系統，能夠控制功率、持續時間和循環時間，提供一致的結果。TEL 305DD還具有最先進的散熱技術和其他熱管理技術,以確保蝕刻過程的最佳性能和均勻性。為確保安全，該工具有一個集成的安全屏風，可以阻擋危險顆粒的發射。該工具的高級自動化功能使其能夠調整物理參數,包括壓力、溫度、射頻功率和速度,以適應工藝應用,從而減少任何產品出現故障的機會。TOKYO ELECTRON 305DD配備了輸液泵送模塊，為蝕刻室提供穩定的新鮮化學品供應，提高產品壽命，降低維護成本。最後，它還配備了一個監控系統，用戶可以實時監控過程參數和生產性能。