二手 TEL / TOKYO ELECTRON 308 SCCM #9128511 待售

TEL / TOKYO ELECTRON 308 SCCM
ID: 9128511
晶圓大小: 12"
Plasma etchers, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON 308 SCCM(以下簡稱308)是一款最先進的蝕刻器/asher,設計用於對難以到達的區域進行高級蝕刻和清潔。它有一臺大型機,配有可選的可變自動聚焦激光掃描設備(VAS)。該系統使用規則和有節奏的振蕩激光波掃描要蝕刻或粉刷的區域,確保均勻的深度和均勻的覆蓋範圍。此外,308還采用了高溫排氣罩,可確保安全和清潔的工作環境。308真正是一個多合一的單元,內置多氣體進料,集成溫控單元。308易於使用,僅需幾分鐘即可完成設置,其中包括易於閱讀的多語言用戶手冊。308允許金屬和非金屬的蝕刻/灰化,深度從3nm到1.5 μ m不等。308真正引人註目的是它能夠創建復雜的3D模式和高寬高比結構。結果是一個令人難以置信的準確和統一的過程,一次又一次.308還配備了多種配件,如自動送粉機、數字光學監控套件、對準和焦點評分機,以及自動取樣工具。這允許增加控制和更高程度的吞吐量控制。此外,射頻感應加熱設備可用於控制蝕刻過程的溫度,確保去除的材料數量保持不變。總體而言,TEL 308 SCCM是一種先進的蝕刻/灰化模型,它為難以到達的區域的復雜蝕刻提供了精確、安全和卓越的控制級別。308具有高功率、高溫排氣罩、可變自動對焦設備以及許多其他功能,是一款用途廣泛、用戶友好的系統,可提供令人難以置信的精確蝕刻體驗。
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