二手 TEL / TOKYO ELECTRON 308 SCCM #9266666 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 308 SCCM是蝕刻器/asher的模型，設計用於從半導體表面蝕刻或粉刷薄膜。本機采用真空沈積、等離子體蝕刻、化學清洗等多合一工藝。它能夠處理多達30個單獨的晶片，並提供優越的晶片對晶片的均勻性和可忽略不計的氧化物殘留物。TEL 308 SCCM 蝕刻器/asher具有高速處理室和自動化控制功能,可實現高吞吐量和可重復的過程控制。這臺機器利用高可靠性的可靠氣體耦合輸送連接和高性能的等離子體閥提供可靠和可重復的過程。它的自動測試和教學模式允許操作員從標準配方和/或過程的視覺確認中建立所需的過程。該過程可以使用幾個自變量來控制，包括射頻功率輸出、壓力、流量和等離子體組成。該機配備了一臺10 kW的射頻發電機，具有用於蝕刻和灰化的功率調諧能力。該發電機的設計是為了提供最大限度的工藝支持和穩定性，即使在惡劣的運行條件和波動的氣體供應。TOKYO ELECTRON 308 SCCM 蝕刻器/asher進一步配置了雙激發等離子體源，提供均勻的等離子體密度，並延伸了可用蝕刻過程的範圍。這一特性還降低了可能限制工藝產量和質量的等離子體不穩定性風險。其高端安全功能有助於保護操作員免受潛在危害。綜上所述，308 SCCM是設計用於半導體制造的蝕刻器/asher。它提供了一系列功能,包括具有調諧功能的10 kW射頻發電機、雙激發等離子體源、自動化過程控制以及堅固的氣體耦合輸送連接。這臺機器非常可靠,可提供高吞吐量、一致的晶片到晶片均勻性以及卓越的工藝效果。