二手 TEL / TOKYO ELECTRON 480 HG #293818880 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 480 HG是一種用於多種半導體制造工藝的下一代蝕刻器/asher。它是TEL Limited（TOKYO ELECTRON）的200毫米熱蝕刻/asching設備，是先進半導體設備的全球領先者。TEL 480 HG具有先進的TEL/TOKYO ELECTRON技術,如自動晶圓處理和直觀的用戶界面,可滿足大批量制造的需求,並可實現精確的工藝產量-這是半導體制造的一個重要因素。TOKYO ELECTRON 480 HG的先進特性為用戶配備了無與倫比的蝕刻和灰化操作控制。該系統配備了模塊化單元結構和各種流程模塊,用戶可以根據其特定流程和應用程序配置該單元。模塊化設計為用戶提供了選擇與所需的機器功能相匹配的模塊的靈活性,例如基板預處理、蝕刻、灰化、後處理清潔和冷凍蝕刻。該工具還利用先進的TEL技術優化蝕刻和灰燼操作。這包括高速晶圓自動裝載機、熱過程溫度管理、過程控制和監控技術，以及調整過程參數以優化資產性能的能力。此外，480 HG具有確保室內均勻氣體分布的均勻等離子體生成模型，以及用於改進熱性能的模塊化工廠-空氣冷卻設備。這些功能結合了一系列軟件工具和手動控制設置，使用戶能夠精確控制過程序列、過程參數以及其他與蝕刻/ashing操作相關的參數。這種靈活性和控制允許用戶在蝕刻和灰化操作過程中達到最高級別的性能和精度。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON 480 HG是一種先進的蝕刻器/灰化器，在高度專業化的半導體制造工藝中提供卓越的性能和產率。該系統的模塊化設計、先進的TOKYO ELECTRON技術以及精確的控制能力，使其成為廣泛蝕刻和灰化操作的理想工具。