二手 TEL / TOKYO ELECTRON 580 LC #62133 待售

ID: 62133
晶圓大小: 6"
RIE etcher, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON 580 LC Asher是一種中型設備,用於蝕刻或灰化薄膜或其他薄樣品,用於多種工藝。它是一種氣源蝕刻器,利用氧氣或其他氣體蝕刻敏感膜或類似產品。創新系統提供約11升的體積,並設有圓形樣品設計。這使得它非常適合各種應用,如納米印刷品光刻(NIL)和其他薄膜以及圖樣化應用。該單元采用垂直結構設計,頂蓋更薄以增加熱循環時間,底蓋更厚以支撐更大的機械穩定性。該機還利用了上腔內的高速氣流,並在下腔內設計了低壓力水平。這種組合為薄膜和其他薄樣品的快速蝕刻提供了低壓力水平和高速氣體環境。蝕刻器/asher配備了一個集成顯示器,用於監控和控制蝕刻/粉刷薄膜或類似產品的過程。這包括一個LCD顯示屏,該顯示屏顯示過程的時間相關配置文件,包括壓力、溫度和電流等詳細信息。該工具還與計算機等各種外部設備集成,以便於數據導出和分析。此外,資產還具有一系列安全功能,如警報和LED指示燈,這些功能會提醒操作員與蝕刻過程相關的任何潛在問題。TEL 580 LC Asher是一種用於蝕刻或粉刷各種薄膜或類似產品的可靠且用途廣泛的型號。它是一種安全、高效和高精度的設備,可用於多種應用,包括納米印刷品光刻(NIL)和圖樣。該系統非常適合實驗室和生產環境,是任何需要精確和可靠的項目的絕佳選擇。
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