二手 TEL / TOKYO ELECTRON 5K5499 #9148403 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 5K5499是一款非常先進的蝕刻器/asher,可為工藝工程師提供經濟高效的解決方案。它具有全自動腔室,最多可容納兩個300 mm/12英寸晶片,用於蝕刻或灰化。該儀器結合了精確的溫度控制和廣泛的流動選擇與潛在的專有PECVD/等離子體源。先進的氣體註入技術與先進的硬件和軟件相結合，確保了最高程度的工藝一致性。首先,此asher/etcher通過提供增強的精密自動化控制提供了一系列更高的性能。該儀器還能夠對最多兩個流程進行自動化管理，從而實現最佳效率和更高產量。TEL 5K5499提供了一系列可根據流程工程師的要求定制的流程選項。這些過程包括蝕刻、灰分、CVD和其他各種專業過程。高度自動化的系統包括可編程氣體、時間和溫度參數。溫度範圍為100至400°C，最大流量為600 sccm。這種多功能儀器還提供兩種操作模式：手動模式和自動模式，用於多個過程的操作。此外,在加工過程中,該儀器保持所需的工藝條件以獲得最佳工藝結果。該儀器擁有智能數據管理系統，易於操作界面和過程監控。TOKYO ELECTRON 5K5499由Windows操作系統運行,包括用於顯示進程數據的12.1英寸彩色液晶面板。該系統還包括用於交互進程執行和控制的手動獨立軟件。手動獨立軟件包括用於監視和管理流程條件的各種功能。5K5499旨在提高工藝效率，最大限度地減少廢料損失，並提供工藝穩定性和可重復性。它配備了PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）源，以確保蝕刻和灰化結果的最高質量。該儀器由專有的用戶界面運行，並提供全面的數據管理、過程監控和過程控制功能。由於儀器的高級特性，它提供了可靠和一致的結果，可以滿足最先進的工藝工程師的需求。