二手 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #293759276 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE是一種為半導體和其他微制造工藝而設計的蝕刻器/asher。它基於類似於ICP-RIE（反應性離子蝕刻）系統中使用的先進ICP（感應耦合等離子體）源，同時利用濕和幹洗工藝。TEL 8500PE可用於清潔和蝕刻材料，從矽、石英和多晶矽，到金和銅。它的工作原理是在加工前首先清潔基板，以確保表面清潔和無汙染。在清洗過程中，TOKYO ELECTRON 8500PE利用一個添加氧氣的氙氣流，產生一個具有可編程射頻功率的ICP源。這種高電離等離子體可以在更短的時間內以更均勻的材料去除來清潔晶圓。此外,8500PE還具有專用的幹蝕刻工藝功能。幹蝕刻模式采用與清潔過程相同的ICP源，並增加了一個氯氣流，專門針對正在蝕刻的材料類型進行調整。利用這種增強的射頻源，TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE能夠在多個晶片上保持一致的蝕刻速率和均勻性。TEL 8500PE與TEL Contol軟件包集成,使用戶能夠對各種蝕刻配方進行編程。利用該軟件，用戶可以控制所有設置，包括工藝時間、氣流、ICP參數和晶圓溫度。Control軟件還允許TOKYO ELECTRON 8500PE連接到局域網（局域網）中的其他設備。這允許在多個8500PEs之間以及外部數據庫或其他計算機之間傳輸數據。8500PE已有十多年的歷史，現已廣泛用於半導體和微型制造行業，提供了經濟可靠的蝕刻和清洗工藝。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE無論是用於獨立系統還是集成在較大的加工機中，仍然是現代微型制造中必不可少的工具。