二手 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9113041 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE是一種蝕刻和等離子體粉碎機，旨在確保在蝕刻過程中的精確控制和精確圖樣。TEL 8500PE采用三軸CNC運動控制系統,經過專門設計,可提供各種樣本量的高質量結果。TOKYO ELECTRON 8500PE使用光刻膠和陽極蝕刻技術相結合，產生陽極氧化蝕刻圖樣。8500PE支持更大尺寸晶片的精度重復精度高達5 µm,均勻度範圍為+/-0.02 mm。即使在最精確的設備和基板上也能提供一致的蝕刻結果。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE依賴於高頻電容耦合、獨立分段射頻感應或PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）控制等離子體源功率控制的組合。對於附加的UFD（均勻性和特征密度）控制,TEL 8500PE還能夠同時使用偏置和底物偏置資源。TOKYO ELECTRON 8500PE具有極低的粒子載荷，能夠達到高達12 CFM（立方英尺/分鐘）的排氣速率。蝕刻室達到的最低溫度約為10°C，為各種基材和應用提供靈活高效的操作。8500PE設計方便，操作安全，具有多種安全特性。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE除了有真空檢視口可供觀察外，還可配備遠端存取控制臺，讓使用者遠距離監視和調整流程參數。總體而言,TEL 8500PE是精密蝕刻和等離子體灰化工藝的理想選擇.其單晶片兼容性、三軸數控運動控制系統以及可變偏置和基板偏置能力提供了真正全面的蝕刻能力。此外,TOKYO ELECTRON 8500 PE增強的安全功能確保了操作過程中的最佳安全性和保護。