二手 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9146011 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE是專門為滿足半導體生產市場需求而設計的高性能自動蝕刻器和asher。TEL 8500PE具有單一腔室,是一種多用途的機器,能夠同時進行蝕刻和灰化處理,並且能夠以較高的吞吐量和較高的精確度進行。TOKYO ELECTRON 8500PE配備了兩個氣動致動的晶圓盒，可容納200個200 mm的卡帶或150個300 mm的卡帶。晶圓盒裝入設備室，晶圓再通過集成處理機器人轉移到蝕刻或灰化模塊。機器人還包含視覺和終端效應器系統，使其能夠準確地將晶片往返於蝕刻或灰化模塊。然後通過高級控制器系統監視和控制蝕刻和/或灰化過程。該控制器具有易於使用的圖形用戶界面，可實時監控和控制流程。它還具有多種工藝配方和跟蹤功能,使操作員能夠快速輕松地設置和維護生產流程。8500PE具有各種蝕刻和灰化工具以及氣體,可提供廣泛的加工功能。它還配備了先進的廢氣回收機，通過回收高達99%的工藝氣體，減少了對環境的影響。最後，TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE有能力處理多種晶片，如矽、砷化氙等。它還具有多個加熱區，允許一定範圍的工藝溫度，並且可以容納尺寸高達300毫米的晶片。總體而言，TEL 8500PE是一款強健而強大的自動蝕刻器和asher，專門為半導體生產市場而設計。它具有先進的控制器工具、工藝多功能性和環境友好性，非常適合滿足現代半導體生產需求。