二手 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9158331 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE是一種用於半導體芯片制造的蝕刻器/asher。它專為各種應用而設計,包括抗薄、淺溝隔離（STI）、金屬電極形成、淺溝接觸（STC）和介電蝕刻。TEL 8500PE是一種利用平行電子模擬（PEA）技術的強大蝕刻器/灰化器。這使得它能夠產生高蝕刻均勻性，高離子數密度和均勻的等離子體分布橫跨基板表面。PEA技術有助於最大程度地減少工藝的不均勻性,並為使用定向和非定向蝕刻的關鍵蝕刻步驟提供更高的縱橫比。TOKYO ELECTRON 8500PE有一個高度靈活的工藝室，它提供了廣泛的基材尺寸和形狀。此外，內部晶片級可以移動到不同的位置，以提高工藝能力和控制。8500PE能夠同時或獨立操作多種氣體，適合各種不同的蝕刻應用。氣流由集成氣流系統精確控制。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE的蝕刻過程控制通過觸摸屏用戶界面進行管理,該界面用戶友好且優化,以便在過程之間快速更改產品。TEL 8500PE還配備了高級控制功能，如實時微調蝕刻條件以及針對不同應用或工藝的不同配方。此外,Etch Data Base還存儲用戶定義的配方和工藝,以便於召回和簡化蝕刻工藝。TOKYO ELECTRON 8500PE具有先進的診斷系統和互鎖控制功能,可檢測和最小化過程故障,從而確保高過程可靠性。它還具有出色的冷卻和壓力穩定性,允許更均勻的蝕刻輪廓。總體而言，8500PE是生產各種半導體器件的可靠和高效的蝕刻器/灰化器。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE具有較高的工藝均勻性、靈活的工藝控制和先進的診斷系統，旨在提供卓越的效果。