二手 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9195648 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE是一種高度先進的等離子體蝕刻器,或asher,用於制造半導體器件以及其他研發應用中的高精度工藝。它是一種雙室平行板系統,具有等離子體增強反應室,能夠實現精確、可重復的蝕刻操作,具有非常高的精度和控制能力。TEL 8500PE采用了先進的數字控制技術,包括內置控制器和交互式圖形以及自動超壓、溫度和壓力控制。這樣可以精確控制和執行蝕刻器的過程,並確保實現所需的蝕刻性能。TOKYO ELECTRON 8500PE還具有很高的離子能量和功率密度,這有助於確保最佳的蝕刻效果。通過廣泛的蝕刻氣體、材料,以及使用多層蝕刻面膜的能力,可以實現精確、可重復的蝕刻工藝。8500PE集成了軟著陸技術,這有助於提高過程效率,因為它允許在一個周期內執行多個蝕刻過程。此外,TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE還具有對蝕刻過程進行精確、可重復的現場診斷和控制功能,如溫度和壓力控制以及精確的超壓控制。TEL 8500PE模型的機械設計和人體工程學結構使其具有卓越的減振能力,並且該機器的設計能夠在任何溫度水平上提供最大的效率和精度。此外,TOKYO ELECTRON 8500 PE的閉環數字控制確保了最佳蝕刻性能,同時保持了安全性和易維護性。綜上所述,8500PE是生產半導體器件具有卓越精度和精確度的最先進的等離子體蝕刻器。其先進的數字控制技術、高功率密度和軟著陸技術使其用途極為廣泛、可靠、易於維護。其符合人體工程學的設計不僅使其具有減振功能,而且用戶友好且效率極高。
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