二手 TEL / TOKYO ELECTRON AMN-5082 #293653819 待售

ID: 293653819
Chamber for SCCM.
TEL/TOKYO ELECTRON AMN-5082是一款可以提供卓越工藝性能能力的蝕刻器,使其成為需要精密蝕刻服務的制造商的理想選擇。該工具專門為滿足蝕刻工藝的要求而設計,配備了多種功能,包括簡化的搬運設備以及各種基材尺寸和材料。TEL AMN-5082能夠蝕刻各種金屬和非金屬基板,從而實現精密工藝控制和大批量生產。該工具的蝕刻系統包括一個先進的轉盤、真空底板、耐燃裝置和冷卻劑-霧控制。轉盤由高精度鋼軸承組成,能夠產生一致的高質量蝕刻輪廓,而低真空底板則確保了安全可靠的蝕刻工藝。TOKYO ELECTRON AMN-5082還配備了一種抗蝕器,可最大程度地減少底物氧化的發生並防止過度蝕刻的發生。這是通過按指定的間隔將化學劑釋放到室內來實現的。這可以根據應用要求進行調整,確保目標蝕刻率隨時實現。此外,冷卻劑-霧氣控制功能確保有效控制冷卻溫度,有助於防止腐蝕過程中的汙染。AMN-5082還提供了處理工具方面的各種好處。利用三軸電機反饋資產,蝕刻器可以自動調整位置,以適應不同的基板和基板尺寸。這在多個基板需要一起蝕刻時特別有用,因為該工具可以輕松調整其運動以確保均勻性。此外,該工具可以編程為自動同步蝕刻過程,以節省時間和減少錯誤。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON AMN-5082是一種全面的蝕刻器,可在許多不同的材料上提供可靠的蝕刻能力。TEL AMN-5082能夠容納各種基板、自動處理模型以及先進的耐火和冷卻劑-霧控制功能,是需要精密蝕刻服務的制造商的有效選擇。
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