二手 TEL / TOKYO ELECTRON Certas WING #9240030 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Certas WING是為生產高品質半導體和復合半導體產品而設計的精密asher和蝕刻器。它是一種多功能精密蝕刻器，利用精密清潔的化學蝕刻有選擇地從晶圓中去除材料。該設備具有超短的工藝時間，允許用戶在不損壞底層結構的情況下，快速、精確地從晶片中移除組件。TEL Certas WING是一個多室工藝室系統，為最高級別的工藝靈活性和可靠性而設計。該裝置具有高效、可重復的晶圓清洗循環和精確的氣流控制，可在高精度位置均勻蝕刻。WING蝕刻器有一個大的用戶可編程的操作區域，允許根據用戶的需求優化工藝配方。WING還具有可調、可選的蝕刻速度，允許處理高長寬比材料。WING機還配備了一個整體鈍化工具，不需要單獨的鈍化過程。這種鈍化是通過使用低壓等離子體完成的，在整個蝕刻晶片周圍提供了優越的均勻性。此外,WING還配備了高級組件,如光束發射、四扇區工藝/端點控制和恒定流量端點控制。WING資產高度集成,可以進行高效的數據交換和通信。該模型旨在允許最多四個區域的同時通信，這意味著可以同時監控多個進程。借助實時數據分析的內置計算機確保了過程的一致性和可重復性。簡而言之，TOKYO ELECTRON Certas WING是一款高效、精確、可靠的蝕刻器，專為半導體和復合半導體產品的最高生產水平而設計。它具有比許多替代方案更快的流程時間、高級流程/端點控制功能、高效的鈍化設備以及並發的數據交換和通信能力。