二手 TEL / TOKYO ELECTRON Certas #9311001 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Certas是一種用於晶圓加工的蝕刻器/asher。該裝置是一種平行板型基板蝕刻器，具有光學精度，用於加工直徑達200毫米的晶片。它設計用於各種蝕刻和灰化工藝。TEL Certas旋轉級設計用於支持晶片在加工過程中的對稱形狀,在晶片上提供均勻的應力分布。此級的轉速由5 rpm可調至300 rpm。該階段可支撐重量不超過5公斤的基質。該裝置的多板蝕刻/灰室設計為提供有效的等離子體蝕刻和灰化過程，共有六個板。這允許在同一臺機器內執行更多種類的進程。該腔室產生的等離子體被有效地輸送到晶片表面，提供可靠的蝕刻速率和晶片清洗。TOKYO ELECTRON Certas也被設計為使各種工藝氣體能夠在其操作中使用。此功能允許設備與標準蝕刻和清潔工藝、光刻蝕刻、介電蝕刻等多種不同的應用一起使用。選擇同時使用標準和新穎的工藝氣體有助於操作員從晶圓加工中獲得最佳結果。設備的控制面板設計為操作員友好，具有易於使用的功能和圖形用戶界面。這使操作員能夠快速準確地為其過程設置參數。設備還具有內置故障檢測系統,如果檢測到異常情況,該系統會觸發警報。這有助於操作員快速識別處理過程中可能出現的任何問題。總之，Certas是一個蝕刻器/asher設計，在晶圓處理提供精度、可靠性和多功能性。該裝置具有可調的轉速、多板腔以及處理各種工藝氣體的能力，適合各種應用。設備的操作友好型控制面板和內置診斷系統使其易於使用,使用戶對設備的性能充滿信心。