二手 TEL / TOKYO ELECTRON Certas #9375198 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Certas
ID: 9375198
Dry cleaning system.
TEL/TOKYO ELECTRON Certas是一種先進的蝕刻/asher儀器,設計用於高精度的通孔光刻和IC裝置在潔凈室環境中的蝕刻。它是一種全自動的光刻/蝕刻設備,為極高的精度和可靠性而設計。其集成的背面對準特征和最先進的光學器件使其能夠進行高度精確的光刻和蝕刻過程,包括微成形、線形、通孔蝕刻和接觸孔蝕刻。其先進的微光刻系統確保在IC器件上蝕刻和打印均勻的圖樣,產量高,質量高。這種最先進的技術引入了精密光刻和蝕刻的新水平,並確保了重復性和準確性,即使對於復雜的設計也是如此。TEL Certas的穩定運行是通過其全自動處理單元來確保的,該單元允許其在極端條件下運行。自動裝卸機使潔凈室環境不受人工搬運的風險,進一步保證了連續穩定運行。此外,它的過程控制工具是一種自調整功能,可以輕松處理設備設計或過程條件所需的任何調整。TOKYO ELECTRON Certas因其廣泛的工藝範圍而提供了優越的工藝靈活性。它與i-line和KrF準分子激光器兼容,可以很容易地編程來處理任何一種模式。先進的光學、先進的自動聚焦資產和高精度的伺服運動控制相結合,即使在最復雜的設計中也具有高性能和可重復性的前景。此外,它的軟件控制激光點輪廓自動調整,以最佳地發射激光束和精確蝕刻。Certas是一個高度集成、用途廣泛的蝕刻/asher模型,它保證了精度、質量、可靠性和穩定性。通過集成集成背面對準、納米定位設備、高精度光學、自動定心和高級工藝控制協議等高級功能,它提供了無與倫比的蝕刻和光刻性能。
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