二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM #293821279 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM（又名Etcher/asher）是TEL開發的多功能蝕刻和灰化設備。它旨在提供各種基材的精確、精確和均勻的蝕刻。專為滿足基材制備和高端光刻加工的嚴格要求而設計。TEL Chamber for SCCM設有一個集成的高精度蝕刻室模塊，由耐用的鋁制車身和石英外殼組成。有六個側面和頂面的熱源，可以獨立控制，最高溫度可達1,000 °C。這確保了基板的均勻和高效的加熱和冷卻。蝕刻室有兩個氣體進氣口，其處置有氙氣、氯氣、氧氣和氮氣，允許各種底物的蝕刻。該系統還有一個先進的定時單元，可以準確地定時蝕刻周期，確保所需材料的完美蝕刻。該機既可進行單片蝕刻，也可進行批量蝕刻，並具有自動校準工具，可連續調整整個蝕刻過程的參數。自動氣體清除設備允許蝕刻室在操作過程中保持安全和清潔。該模型還具有高效的多級過濾設備，可確保清潔的蝕刻環境。它還有一個高精度的光強度控制系統，可以編程以匹配各種應用的光環境。使用高強度清洗和幹燥裝置可以蝕刻較厚的基材。此外，SCCM可以進行不同的加工程序，如化學蝕刻，從而對蝕刻過程進行高效、精確的控制。該機還可用於其他活動，如債券準備和背面清理。總體而言，TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM是一種先進的蝕刻和灰化工具，能夠高效、精確地蝕刻不同的底物。其集成的蝕刻室，加上先進的定時資產和氣體凈化模型，為保證任何基材的完美蝕刻提供了最佳工藝。此外，其光強度控制設備、過濾系統和自動氣體凈化裝置有助於減少汙染和確保安全的蝕刻環境。