二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM #9204386 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM是一款高性能的蝕刻器/asher，設計用於蝕刻和灰化工藝。這種腔室是半導體器件制造的理想選擇，特別是在多層制造中，並已被廣泛應用。它實現了從簡單到復雜的蝕刻/灰分過程的高精度和可重復性的過程控制。TEL Chamber for SCCM提供了多種特點，如其退火和灰化雙爐系統，其內置氣體系統，提供準確、一致的氣體和流量控制。該腔室具有高效的混合系統，可進行高效的粒子處理，並具有各種根據工藝和應用要求量身定制的功能。該室還包括一個先進的軟件套件，可進行全面的過程控制和監測。TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM還提供了一些安全功能，如低O2氣體濃度傳感器和緊急關閉，以確保安全運行。此外，該腔室設計為氣密和防漏，能夠穩定和可重復的操作。該室還配備了先進的溫度控制技術，可在一定範圍內進行精確和均勻的操作，使其適合各種材料和配方。它可以通過使用腔室參數優化參數來操作，允許同時使用8個參數。用於SCCM的腔室被用於各種設置和應用，從光掩模和LCD制造到SOI和內存設備制造。該腔室是對任何半導體加工生產線的可靠高效的補充，提供了高的工藝控制精度和可重復性。