二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM #9226603 待售

TEL（TOKYO ELECTRON/TE）TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM（亞臨界化學機械拋光）是一種利用化學機械過程在底物上拋光和蝕刻微結構的蝕刻器/asher。這種先進的設備能夠以高精度和高質量生產先進的微結構特性。TEL/TOKYO ELECTRON/TE TEL Chamber for SCCM有一個專利工藝，利用化學和機械相互作用在底物上拋光和蝕刻微結構。在這個過程中，目標材料被定位在一個多級旋轉板的頂部，基板首先用化學溶液處理一段時間。然後，將基材暴露在高速拋光環境中，在這種環境中，砂漿由壓板旋轉驅動，並以精確的壓力加壓。磨料漿中含有金剛石磨料材料，這些材料是由一種劑量機制精確控制的。接著是一個溫和的蝕刻過程，利用在兩層之間的間隙中形成的軟材料的犧牲層。拋光過程完成後，將基材暴露在沖洗步驟中，然後再進行幹燥步驟，以除去任何殘留物。為保證卓越品質，TEL/TE TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM配備了一系列先進功能。其中包括：一個溫度和液壓控制系統，用於精密調整壓板的旋轉和壓力；用於過程穩定的連續單色監視器；一種先進的基板移動控制控制器；整體氣流通道和閥門；控制化學溶液的組成和特性的子系統；以及一個檢漏監測裝置，以監測蝕刻室的清潔度。此外，TOKYO ELECTRON/TE Chamber for SCCM的設計是為了有效防止塵埃和顆粒的汙染，借助差動加壓機。TEL/TOKYO ELECTRON/TE TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM憑借其精確高效的工藝控制和先進的特點，提供了可預測和可重復的結果，使其成為生產高精度、高質量微結構特征的理想解決方案。除了高度可靠和高效之外,此工具還缺乏維護功能,並提供用戶友好的操作界面,使其成為小型和大型操作的理想選擇。此外,此蝕刻器/asher完全符合適用的國際標準和準則,如SEMI/ESF和ESD保護。