二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus #9298663 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus（ETCHER/ASHER）是一種最先進的、批次型蝕刻設備。該腔室設計為精確控制蝕刻微結構的尺寸和形狀，實現整個工藝溫度、氣體壓力、浴室溫度、各種蝕刻氣體類型的自動化可遙控。Tactras Vigus腔室適用於：MEMS、晶片、SOI和Si的生產、玻璃蝕刻、CMP和清潔等各種半導體工藝，以及RF等高頻電路板的蝕刻。其溫度範圍為-10至400°C，壓力範圍為0.1至600毫巴。該腔室還配備了氙氣（Ar）、氮氣（N2）、二氧化碳（CO2）、氫氣（H2）等氣體，以方便蝕刻過程。蝕刻系統還配備了先進的特點，如：背面冷卻裝置、溫度均勻機、供氣工具、惰性氣體資產、氣體凈化模型，以及預編程配方的預編程配方功能，以滿足各種工藝要求。該室經日本工業標準（JIS）認證，符合以下條件：在線汙氣還原（FGR）*、E-鐵氧體氙氣FGR、CVD**。它還配備了FGR***再生功能，以減少蝕刻過程中產生的有害氣體的數量。此外，該腔室還為不同的氣體組合設置了預先編程的設置，以便於蝕刻過程。此外，Tactras Vigus Chamber被批準用於半導體和電子行業，並附有1年保修。它的設計使操作和維護更加方便，具有用戶友好的液晶面板和方便的控制面板。它能夠對多種材料進行蝕刻，使其成為各種蝕刻應用的通用設備。總體而言，TEL Chamber for Tactras Vigus是一款先進的蝕刻設備，提供可靠的性能和精確的蝕刻結果。它具有用戶友好的特點和廣泛的支持氣體類型，適用於各種蝕刻工藝。*FGR-汙氣去除**CVD-化學氣相沈積***FGR-汙氣修復