二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus #9353006 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus
ID: 9353006
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Strip chamber, 12" ATC MM0011 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asher是一種最先進的蝕刻/灰化設備,旨在以最短的處理時間提供優異的效果。其獨特的設計融合了帶有數字電機控制系統的真空室,用於精確高效的操作,以及用於維護精確參數的閉環過程監控單元。機器配備了先進的可編程邏輯控制器(PLC),可監控和控制蝕刻/灰化過程的每個步驟,從而實現高精度蝕刻/灰化結果。TEL Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asher具有眾多功能,與市場上的其他蝕刻/灰化系統相比,它是一個獨特的選擇。首先,它的閉環過程監測工具可以精確估計周期時間,防止過度加工和銷毀有價值的材料。其次,其先進的PLC資產允許通過提高蝕刻速度和降低破損概率來優化蝕刻/灰化工藝。最後,該模型包括多種自動編程工具,包括基於程序和交互式編程,以及實時監控和編輯蝕刻/ashing參數。性能方面,TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asher能夠蝕刻/Ashing基板,厚度可達12mm,尺寸為700 mm,失真最小。它可以處理蝕刻/ashing作業,油墨時間非常低,為70秒,蝕刻/ashing分辨率高達10nm,從而獲得準確而均勻的結果。此外,該設備還包括各種安全功能,如緊急停止開關、過流保護和閥門的幹流保護。Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asher是一個功能強大的蝕刻/灰化系統,它使用戶能夠以低成本和時間效率的方式獲得優異的效果。其眾多的特性、先進的PLC單元以及令人印象深刻的蝕刻/灰化性能,使其成為那些尋求可靠和高效蝕刻/灰化機的人的絕佳選擇。
還沒有評論