二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus #9353007 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus是一種蝕刻/asher工具，用於對用於制造集成電路（IC）的電路板進行圖樣化。它由四個主要組成部分組成：蝕刻室、熱擴散板、化學分布頭和基板處理機構。蝕刻室是由不銹鋼製成的圓柱形室。其內部襯有耐熱耐火材料。熱擴散板放置在腔室底部。它旨在將蝕刻過程中產生的熱量均勻地分布在整個腔室和基板表面。化學分配頭負責將蝕刻化學品送到蝕刻室。它遵循一系列精確的運動噴灑蝕刻化學物質到基板上。它旨在精確測量和驅散蝕刻化學品，還能夠從蝕刻室中清除殘留的任何化學品。基板處理機構負責將基板牢固地定位在蝕刻室中，並將結構定位為均勻的化學分布。這一機制旨在處理各種尺寸和形狀的基板，並且需要最小的校準和輸入。TEL Chamber for Tactras Vigus是一種可靠、高效的蝕刻/asher工具。它非常適合於從玻璃晶片到聚酰亞胺片材等各種基材的圖案。其先進的化學處理能力允許在蝕刻過程中的高精度。其精確測量和分散蝕刻化學品的能力及其高效的熱擴散板使得蝕刻成為一種快速高效的工藝。此外，其控制系統允許精確控制蝕刻過程，包括溫度和壓力水平，確保基板的均勻蝕刻。TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus是一種可靠且具成本效益的蝕刻/asher工具,用於對IC制造中使用的各種基板進行陣列化。