二手 TEL / TOKYO ELECTRON Chambers for SCCM #293602570 待售
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ID: 293602570
晶圓大小: 12"
TEL/TOKYO ELECTRON Chambers for SCCM是一種先進的蝕刻器和asher系統，非常適合半導體基板的精密處理。TEL/TOK Chambers由濕蝕刻和幹灰泥組成,旨在提供最高水平的控制和準確性,提高產量並最大限度地提高吞吐量性能。腔室由一個不銹鋼真空室組成，該真空室具有獨立的腔室組件，可實現精確的溫度和過程控制，提供卓越的均勻性。松下蝕刻和灰化系統提供可靠的，可重復的結果，低水平的基板損壞。腔室可調至6英寸寬，在整個蝕刻/灰燼過程中調節腔室壓力、溫度和壓力等特定條件，確保最大控制和效果。為了進一步確保準確性和均勻性，腔室采用了統一氣體輸送和消融能等創新技術，包括氣體擴散板，允許精確的氣體流動。還可以使用低壓脫離子（DI）水噴霧，這有助於保持室內的精確目標壓力。這反過來又有助於消除基板上的顆粒堆積，確保精確的蝕刻、灰化和加工。此外，該室采用密封電極結構，旨在適應濕蝕刻工藝，提供低壓和精確、均勻的蝕刻。這有助於最大程度地減少蝕刻不一致,從而減少缺陷。該設計還有助於提高吞吐量和縮短周期時間。TOKYO ELECTRON/TOK TEL Chambers具有堅固耐用的結構、出色的溫度和工藝控制精度、創新技術以及高可靠性和可重復性的性能,是尖端半導體基板的理想蝕刻器和粉碎器,可提高產量並最大限度地提高吞吐量。
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