二手 TEL / TOKYO ELECTRON DRM #293607522 待售
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TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON DRM是為半導體和光掩模工業設計的蝕刻/灰化設備。它是一個強大的自動化系統，蝕刻大面積基板，快速和準確。它由一個主加工室和四個分室組成。主室為大型加熱不銹鋼外殼，配有加熱進出口、排氣單元、吹氣機、加工氣源、樣品輸送工具。子室用於供應多種工藝氣體，包括氟氣、氯氣、氫氣、氮氣和氧氣。氣體儲存在各自的子室中，並在所需的壓力和溫度下運行，以實現所需的工藝。還提供了真空泵，用於工藝室的疏散。樣品運輸資產由機器人臂組成，機器人臂將樣品基板從主室移動到子室。該模型還有一個集成的等離子體源。該等離子體用於清潔腔室，使要蝕刻的表面暴露於反應性離子。等離子體還通過精確控制存在的離子密度和類型來幫助控制蝕刻過程。這允許非常精確的過程控制。此外，還使用了互鎖設備，以確保在進程進行期間腔室保持關閉狀態。TEL DRM系統用途極為廣泛,可用於多種蝕刻應用,包括薄膜蝕刻、細紋和特征加工。它易於設置和操作，能夠提供最小缺陷的優異效果。該機組也非常節能經濟，能夠在短時間內生產出高質量的蝕刻。
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