二手 TEL / TOKYO ELECTRON DRM #293616604 待售

TEL/TOKYO ELECTRON DRM是一種蝕刻機，用於將圖樣傳遞到基板上。這臺機器通過用帶電粒子束（如離子）爆破矽晶片（或其他材料）來操作，以便在晶片表面上創建所需的圖樣。這些離子保持能量，如果這束能量足夠低，離子不會同時對材料造成任何損害。這臺機器也被稱為光刻劑asher或幹蝕刻器，因為它的蝕刻機理涉及在蝕刻過程中使用離子而不是化學物質。這種蝕刻方法可以用更少的碎屑實現更快的蝕刻（因為沒有使用液體化學物質），並且可以產生比液體蝕刻更精細的圖樣。TEL DRM利用等離子體輔助蝕刻工藝提高精度。在這個過程中，一種中性氣體（典型的氦和氧的混合物）被引入機器的腔室，然後在兩個電極之間施加高壓。兩個電極之間的電場導致氣體帶電，形成等離子體。等離子體中的單個氣體分子離子在與晶片表面碰撞的同時保持其能量晶格完整，從而避免了對晶片的任何損害。離子束可能集中在特定的區域，利用這種光束，機器存儲了一個有數百萬個不同蝕刻圖樣的庫，這些圖樣在蝕刻過程中使用。此外，在蝕刻過程中，機器可能會受到外部電壓的控制，這會改變等離子體的凈能量，並可以為蝕刻過程提供額外的控制和精度。TOKYO ELECTRON DRM是一種高度精確可靠的機器，能夠創造極低的線寬和高分辨率模式。本機維護最少，能達到高品質的最終效果，可用於多種材料。它是各行業薄膜蝕刻的熱門和有效選擇。