二手TEL / TOKYO ELECTRON / EPION(蝕刻機/ 光阻清洗機)待售

由TEL/TOKYO ELECTRON/EPION製造的Etcher/Ashers因其尖端的技術和卓越的性能而在半導體工業中備受推崇。這些系統在集成電路和其他微電子器件的制造中被廣泛用於等離子體蝕刻和灰化過程。TEL/TOKYO ELECTRON/EPION蝕刻器/灰燼的主要優點之一是能夠在各種材料上實現高精度和均勻性。這些系統能夠在納米尺度上進行選擇性蝕刻，從而能夠對IC進行精確的制圖，並確保設備的最佳性能。而且，這些工具先進的工藝控制能力使溫度、壓力、氣流和其他參數的精確控制成為可能，從而產生高度可重復和可靠的結果。TEL/TOKYO ELECTRON/EPION/asher系統的一些顯著例子包括GCIB1和UltraTrimmer 30。該GCIB1是一個氣體集群離子束系統，為各種材料，特別是有機膜和無機膜提供高分辨率的表面改性能力。它可以實現高度精確的物料去除和表面平滑,而不會損壞底層結構。另一方面，UltraTrimmer 30是一種無功離子蝕刻系統，設計用於無源元件的高性能修剪，如電容器和電阻器，以達到精確的值。它提供了出色的蝕刻速率和選擇性控制,確保精確的修剪與最小的變化.總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON/EPION蝕刻器/灰燼為半導體行業提供了精密可靠的蝕刻和灰化工藝的先進解決方案，從而能夠生產高質量的IC和微電子器件。