二手 TEL / TOKYO ELECTRON Etch chamber for Certas RST #293671309 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ETCH Chamber for Certas RST是一種用於制造集成電路元件和基板的高度先進、可靠的蝕刻和灰化系統。這種蝕刻室能夠執行各種各樣的加工任務，從鋁的相互連接蝕刻到光致抗蝕劑的粉刷，再到某些材料的退火。TEL蝕刻室結構精密,具有最高的可靠性和可重復性.腔室采用了高精度射頻發生器、雙區射頻電極、集成溫度控制等先進特性，使其實現了最緊的工藝公差。除了蝕刻室堅固可靠的功能外，它還設計了易於使用的控件和軟件。這使得用戶體驗直截了當；可以快速存儲、檢索和編輯蝕刻室參數,以便於操作。TOKYO ELECTRON Etch chamber被設計成一個高效和生產性的工具。腔室具有三模式晶片傳輸機制，允許以極高的吞吐量速度低壓裝卸晶片。此外，先進的繪圖能力被納入蝕刻室的床，使操作員能夠設計和繪制用於蝕刻和等離子體灰化的模板。TEL/TOKYO ELECTRON Etch Chamber是一種處理多種工藝應用的功能極其強大且用途廣泛的工具。其精密的構造和易於使用的控制使其適合廣泛的蝕刻和灰化應用，如MEMS制造、等離子體灰化、聚酰亞胺去除等等。這個蝕刻室是出於安全考慮而設計的。它具有多種安全特性,如多個壓力和溫度傳感器,以及屏蔽良好的射頻電子設備,使操作員和人員在操作腔室時不受傷害。Certas RST的TEL蝕刻室是一種可靠且先進的蝕刻和灰化系統,能夠滿足最嚴格的工藝公差並實現最高的吞吐量速度。該蝕刻室具有易於使用的界面、堅固的結構和安全功能,確保滿足任何IC制造或設備制造操作的需要。