二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #293641258 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H是一種為晶圓級器件制造而設計的蝕刻器/asher。它采用多腔室、多氣體和多盒式處理，能夠處理100毫米和150毫米晶圓。利用這種蝕刻器/灰化器，晶圓級設備制造工藝比傳統工藝更快、更高效。TEL Formula-1-H 蝕刻器/asher配備了一個多室平臺，可以進行幹濕蝕刻。其多氣體特性增加了多達四種可加工氣體的多功能性，允許一系列反應。這樣既可以進行深層蝕刻，也可以進行硬面膜蝕刻，以及接觸蝕刻和各向異性蝕刻。多盒式功能允許控制氣體補充，消除處理時間和優化周轉。工藝氣體的隔離也提高了環境安全，可以減輕潔凈室的負荷。TOKYO ELECTRON FORMULA 1H專為單層和多層工藝的晶圓級器件制造而設計，產量高。它具有低功耗設計，配有快速晶圓傳輸機器人，可以減少加工時間。多室平臺的設計具有靈活性和可擴展性，允許各種新的流程，可以根據需要進一步完善。該系統還采用鍍金腔室表面，降低維護成本，確保更清潔的加工。TOKYO ELECTRON Formula-1-H包括一個自動清洗系統，以防止過程汙染。該系統還包括先進的安全功能,確保最佳操作安全.Formula-1-H 蝕刻器/asher是半導體工業的理想選擇,能夠以最高的效率制造晶圓級器件。